كثافة حفر النقش

تُعد كثافة حفر النقش ( EPD ) مقياسًا لجودة رقائق أشباه الموصلات . ^{[ 1 ] [ 2 ]}

يُطبَّق محلول حفر على سطح الرقاقة، حيث تزداد سرعة الحفر عند مواضع الانخلاعات البلورية ، مما يؤدي إلى ظهور حفر . بالنسبة لزرنيخيد الغاليوم (GaAs) ، يُستخدم عادةً هيدروكسيد البوتاسيوم المنصهر عند درجة حرارة 450 درجة مئوية لمدة 40 دقيقة تقريبًا في بوتقة من الزركونيوم . يمكن تحديد كثافة الحفر باستخدام مجهر التباين الضوئي . تتميز رقائق السيليكون عادةً بكثافة منخفضة جدًا تقل عن 100 سم⁻² ^، بينما تبلغ كثافة الحفر في رقائق زرنيخيد الغاليوم شبه العازلة حوالي ^10⁵ سم⁻² ^. 

تتطلب كواشف الجرمانيوم عالية النقاء أن تُنمى بلورات الجرمانيوم بنطاق مُتحكم به من كثافة الانخلاعات لتقليل الشوائب. ويتراوح الحد الأدنى المطلوب لكثافة حفر النقش عادةً بين ^10³ و10⁴ ^{سم⁻² .}

يمكن تحديد كثافة حفر النقش وفقًا للمعيار DIN 50454-1 و ASTM F 1404. ^{[ 3 ]}