الطباعة الحجرية العكسية

في تصنيع أشباه الموصلات ، تُعد تقنية الطباعة الحجرية العكسية ( ILT ) أسلوبًا لتصحيح التقارب البصري لتحسين تصميم قناع الطباعة الضوئية . وهي في الأساس طريقة لحل مشكلة التصوير العكسي : حساب أشكال الفتحات في قناع الطباعة الضوئية ("المصدر") بحيث يُنتج الضوء المار تقريبًا جيدًا للنمط المطلوب ("الهدف") على المادة المُضاءة، والتي عادةً ما تكون مادة مقاومة للضوء . ولذلك، تُعامل هذه التقنية كمسألة تحسين رياضي من نوع خاص، لأنه عادةً لا يوجد لها حل تحليلي. ^{[ 1 ]} في الأساليب التقليدية المعروفة باسم تصحيح التقارب البصري (OPC)، يُضاف إلى شكل "الهدف" مستطيلات مضبوطة بدقة لإنتاج " شكل مانهاتن " لـ "المصدر"، كما هو موضح في الرسم التوضيحي. أما تقنية الطباعة الحجرية العكسية فتُنتج أشكالًا منحنية للمصدر، مما يُوفر تقريبًا أفضل للهدف. ^{[ 2 ]}

طُرحت تقنية ILT في ثمانينيات القرن الماضي؛ إلا أنها كانت غير عملية آنذاك نظرًا لمتطلباتها الهائلة من القدرة الحاسوبية وأشكال المصادر المعقدة، مما شكّل صعوبات في التحقق ( التحقق من قواعد التصميم ) والتصنيع. وفي أواخر العقد الأول من القرن الحادي والعشرين، بدأ المطورون في إعادة النظر في تقنية ILT نظرًا للزيادة الكبيرة في القدرة الحاسوبية. ^{[ 1 ]}