وحدة فلتر المروحة

شبكة سقف مرشحة لغرفة نظيفة لتصنيع الإلكترونيات الدقيقة (أشباه الموصلات) مزودة بوحدات مروحة مرشحة

وحدة ترشيح الهواء بالمروحة ( FFU ) هي نوع من معدات ترشيح الهواء الآلية . تُستخدم لتزويد غرف الأبحاث النظيفة والمختبرات والمرافق الطبية والبيئات الدقيقة بهواء نقي عن طريق إزالة الجزيئات المحمولة جوًا من الهواء المُعاد تدويره. [ 1 ] تُركّب هذه الوحدات ضمن شبكة السقف أو الأرضية للنظام. تتطلب غرف الأبحاث النظيفة الكبيرة عددًا كبيرًا نسبيًا من وحدات ترشيح الهواء بالمروحة، والذي قد يتراوح في بعض الحالات من عدة مئات إلى عدة آلاف. [ 1 ] [ 2 ] غالبًا ما تحتوي الوحدات على مرشح أولي خاص بها، ومرشح HEPA ، ونظام توزيع هواء بالمروحة قابل للتحكم داخليًا. [ 3 ]

تصميم

تُصنع وحدات تنقية الهواء عادةً في هياكل فولاذية بأبعاد 4 × 2 قدم، أو 3 × 2 قدم، أو 2 × 2 قدم، ويمكن تركيبها في فتحات شبكية في السقف بأبعاد مماثلة. [ 2 ] غالبًا ما تحتوي الوحدات على مرشح أولي بالإضافة إلى مرشح HEPA (مرشح هواء عالي الكفاءة للجسيمات)، أو مرشح ULPA (مرشح هواء منخفض الجسيمات للغاية)، أو مرشح MERV (قيمة الإبلاغ عن الحد الأدنى للكفاءة). تُستخدم مروحة آلية لسحب الهواء عبر المرشحات لتوزيعه على الغرف أو محطات العمل المغلقة مثل أغطية التهوية. [ 3 ] عادةً ما يتم التحكم في سرعة المروحة عن طريق ضبط المحرك تدريجيًا أو باستخدام مقاومة متغيرة . [ 2 ] [ 3 ] تحدد مستويات النظافة المطلوبة نوع المرشح المستخدم: تزيل مرشحات HEPA الجسيمات التي يبلغ حجمها 0.3  ميكرومتر أو أكبر بكفاءة 99.99%، بينما تزيل مرشحات ULPA الجسيمات التي يبلغ حجمها 0.12  ميكرومتر أو أكبر بكفاءة 99.999%. [ 3 ] صُممت وحدات الترشيح بالرش (FFUs) لتدفق الهواء الصفائحي، كما هو مطلوب في البيئات الحساسة. يُعد الهواء المتحكم فيه، المتدفق في اتجاه وسرعة منتظمين (حاملاً الجسيمات الدقيقة)، أنظف من الهواء المضطرب الذي يتدفق في اتجاهات متعددة أو بسرعات غير منتظمة. تتسبب الدوامات التي يُحدثها الهواء المضطرب في ترسب الجسيمات الدقيقة الملوثة على الأسطح النظيفة.

الاستخدامات

صُممت وحدات ترشيح الهواء (FFUs) بأبعاد 4 × 2 قدم أو 2 × 2 قدم لتوضع في فتحات شبكية سقفية ذات أبعاد مماثلة. [ 3 ] تُستخدم شبكات السقف ذات الفتحات القياسية التي تتوافق مع أبعاد وحدات ترشيح الهواء في بناء غرف نظيفة. وبناءً على متطلبات النظافة للمساحة الخاضعة للتحكم، يمكن إضافة المزيد من وحدات ترشيح الهواء إلى الشبكة لتلبية معايير المنظمة الدولية للتوحيد القياسي (ISO) لسرعة تدفق الهواء وعدد مرات تغيير الهواء في الساعة. [ 4 ]

يمكن استخدام وحدات ترشيح الهواء (FFUs) بدلاً من وحدات إعادة تدوير الهواء التقليدية، مثل أنظمة التهوية الموجهة أو أنظمة الهواء المضغوط. [ 1 ] [ 2 ] ونظرًا لأن وحدات ترشيح الهواء تتطلب مساحة فوق شبكة السقف (13 بوصة لوحدة ترشيح الهواء بالإضافة إلى 1-2 قدم أخرى من المساحة الفارغة المملوءة بالهواء)، تُستخدم أنظمة الهواء المضغوط عادةً في الغرف النظيفة ذات القيود على الارتفاع؛ فهي أنظمة الهواء الوحيدة التي تعمل في التصاميم ذات الأبعاد الداخلية الصغيرة للأرضية. [ 2 ] بالإضافة إلى ذلك، عندما يتم تركيب أقل من 20 مرشحًا في الغرفة، تُعتبر وحدة ترشيح الهواء المزودة بمروحة ومرشح HEPA عمومًا أقل تكلفة من نظام التزويد التقليدي الموجه. [ 5 ]

عند الحاجة إلى بيئة دقيقة من الهواء النظيف، يمكن استخدام وحدات تدفق الهواء (FFUs) لإنشاء مساحات عمل مغلقة، أو خزائن تدفق صفائحي. وبتطبيق المبدأ نفسه المتبع في شبكة غرف التنظيف الأكبر حجمًا، يمكن وضع وحدات تدفق الهواء (FFUs) مباشرةً في شبكة قائمة بذاتها فوق المساحة التي تتطلب هواءً نظيفًا. في الواقع، يُستخدم هذا النهج أيضًا في حفر رقائق السيليكون في صناعة أشباه الموصلات. [ 6 ]

مراجع

  1. 1 2 3 كوهلي، راجيف؛ ميتال، كشميري ل. (2009). التطورات في تلوث الأسطح وتنظيفها - ترسب الجسيمات والتحكم فيها وإزالتها . ويليام أندرو. ص  164. ISBN 978-1-4377-7830-4.
  2. 1 2 3 4 5 شو، تينغفانغ؛ لان، تشاو-هو؛ جينغ، مينغ-شان (يونيو 2007). "أداء وحدات المروحة والمرشح الكبيرة لتطبيقات الغرف النظيفة". البناء والبيئة . 42 (6): 2299-2304 . Bibcode : 2007BuEnv..42.2299X . doi : 10.1016/j.buildenv.2006.05.007 .
  3. 1 2 3 4 5 بنويل (مارس 2007). غرف نظيفة . المجلد 21. الصفحات 16-17 . الرقم الدولي الموحد للدوريات 1043-8017 . تاريخ الاسترجاع 26 أكتوبر 2011 .   
  4. شنايدر، ريموند ك. (2001). تصميم أنظمة التدفئة والتهوية وتكييف الهواء في الغرف النظيفة (ملف PDF) . مجلة ASHRAE. مؤرشف من النسخة الأصلية (ملف PDF) بتاريخ 28 أكتوبر 2016. تم الاطلاع عليه بتاريخ 22 أغسطس 2001 .
  5. بنويل (مارس 2008). غرف نظيفة . المجلد 22. ص 36. الرقم الدولي الموحد للدوريات 1043-8017 . تم الاطلاع عليه بتاريخ 26 أكتوبر 2011 .   
  6. بارك، جاي يونغ؛ كيم، هان ميل؛ سونغ، جونغ كوك؛ تشو، وون هو؛ رو، إيون سو؛ آرتشر، ليو (مايو 2007). "عملية رقاقة واحدة لتحسين تنظيف ثقوب التلامس المعدني". تكنولوجيا الحالة الصلبة . 50 (5): 50-53 . Gale A165311824 .