ليزر الإكسيمر

📅 آخر تحديث: ٣١ يوليو ٢٠٢٦
✍️ نُشر في: ٣١ يوليو ٢٠٢٦
📷 يحتوي على 3 صور
الموسوعة الحرة
ليزر الإكسيمر

الليزر الإكسيمر ، والذي يسمى أحيانًا بشكل أكثر دقة ليزر الإكسيبلكس ، [ 1 ] هو شكل من أشكال الليزر فوق البنفسجي الذي يستخدم عادة في إنتاج الأجهزة الإلكترونية الدقيقة ، والدوائر المتكاملة القائمة على أشباه الموصلات أو "الرقائق"، وجراحة العيون ، والتصنيع الدقيق .

منذ التسعينيات، تم استخدام ليزرات الإكسيمر على نطاق واسع في آلات الطباعة الضوئية عالية الدقة ، وهي إحدى التقنيات الحاسمة المطلوبة لتصنيع رقائق الإلكترونيات الدقيقة .

المصطلحات والتاريخ

يُظهر ليزر Electra KrF قدرة على إطلاق 90,000 طلقة على مدار 10 ساعات

مصطلح "إكسيمر " هو اختصار لعبارة " ثنائي مثار "، بينما "إكسيبلكس" هو اختصار لعبارة " مركب مثار ". معظم ليزرات الإكسيمر من نوع هاليدات الغازات النبيلة، والتي يُعدّ مصطلح "إكسيمر" فيها ، من الناحية الدقيقة، تسمية غير دقيقة.

اقترح فريتز هوترمانز ليزر الإكسيمر عام 1960. [ 2 ] بدأ تطوير ليزر الإكسيمر بملاحظة تضييق خط طيفي ناشئ عند 176 نانومتر ، والذي أبلغ عنه نيكولاي باسوف ، وڤ. أ. دانيلتشيف، وي. م. بوبوف، في معهد ليبيديف للفيزياء في موسكو عام 1971 [ 3 ] ، باستخدام ثنائي زينون سائل (Xe2 ) مُثار بواسطة حزمة إلكترونية . وبدافع من هذا التقرير، قدم هـ. أ. كوهلر وآخرون دليلاً أفضل على الانبعاث المحفز عام 1972، [ 4 ] باستخدام غاز زينون عالي الضغط. وقُدِّم الدليل القاطع على عمل ليزر إكسيمر الزينون عند 173 نانومتر باستخدام غاز عالي الضغط عند 12 ضغطًا جويًا، يُضخ أيضًا بواسطة حزمة إلكترونية، لأول مرة في مارس 1973، من قِبل ماني لال بهوميك من شركة نورثروب، لوس أنجلوس. لوحظ انبعاث محفز قوي عندما ضاق الخط الطيفي لليزر من طيف متصل بطول 15 نانومتر إلى 0.25 نانومتر فقط، وزادت شدته ألف ضعف. وكانت طاقة الليزر المقدرة بـ 1 جول كافية لتبخير جزء من طبقات المرآة، مما أثر على نمط نبضاته. أثبت هذا العرض إمكانية تطوير ليزرات عالية الطاقة بأطوال موجية قصيرة. [ 5 ] [ 6 ] [ 7 ]   

A later improvement was the use of noble gashalides (originally XeBr) developed by many groups in 1975.[8] These groups include the Avco Everett Research Laboratory,[9] Sandia Laboratories,[10] the Northrop Research and Technology Center,[11] the United States Government's Naval Research Laboratory,[12] which also developed a XeCl Laser[13] that was excited using a microwave discharge,[14] and Los Alamos National Laboratory.[15]

Construction and operation

Final amplifier of the Nike laser where laser beam energy is increased from 150 J to ~5 kJ by passing through a krypton/fluorine/argon gas mixture excited by irradiation with two opposing 670,000 volt electron beams.

An excimer laser typically uses a combination of a noble gas (argon, krypton, or xenon) and a reactive gas (fluorine or chlorine). Under the appropriate conditions of electrical stimulation and high pressure, a pseudo-molecule called an excimer (or in the case of noble gas halides, exciplex) is created, which can only exist in an energized state and can give rise to laser light in the ultraviolet range.[16][17]

Laser action in an excimer molecule occurs because it has a bound (associative) excited state, but a repulsive (dissociative) ground state. Noble gases such as xenon and krypton are highly inert and do not usually form chemical compounds. However, when in an excited state (induced by electrical discharge or high-energy electron beams), they can form temporarily bound molecules with themselves (excimer) or with halogens (exciplex) such as fluorine and chlorine. The excited compound can release its excess energy by undergoing spontaneous or stimulated emission, resulting in a strongly repulsive ground state molecule which very quickly (on the order of a picosecond) dissociates back into two unbound atoms. This forms a population inversion.

تحديد الطول الموجي

يعتمد الطول الموجي لليزر الإكسيمر على الجزيئات المستخدمة، وعادة ما يكون في نطاق الأشعة فوق البنفسجية للإشعاع الكهرومغناطيسي :

إكسيمرالطول الموجيالقوة النسبية
Ar 2 *126  نانومتر
كر ٢ *146  نانومتر
F 2 *157  نانومتر
Xe 2 *172 و 175  نانومتر
ArF193  نانومتر60
كلوريد الكريبتون222  نانومتر25
KrF248  نانومتر100
XeBr282  نانومتر
XeCl308  نانومتر50
XeF351  نانومتر45

يمكن أيضًا جعل ليزرات الإكسيمر، مثل ليزرات XeF و KrF، قابلة للضبط بشكل طفيف باستخدام مجموعة متنوعة من ترتيبات الموشورات والشبكات داخل التجويف. [ 18 ]

معدل تكرار النبض

إن ليزر إلكترا الموجود في مختبر الأبحاث البحرية هو ليزر KrF أظهر أكثر من 90000 طلقة في 10 ساعات.
إن ليزر إلكترا الموجود في مختبر الأبحاث البحرية هو ليزر KrF أظهر أكثر من 90000 طلقة في 10 ساعات.

على الرغم من قدرة ليزرات الإكسيمر المضخّمة بحزمة الإلكترونات على إنتاج نبضات طاقة عالية منفردة، إلا أنها تفصل بينها عادةً فترات زمنية طويلة (عدة دقائق). ويُستثنى من ذلك نظام إلكترا، المصمم لدراسات الاندماج بالقصور الذاتي، والذي كان قادرًا على إنتاج دفعة من 10 نبضات، تبلغ طاقة كل منها 500 جول، على مدى 10 ثوانٍ. [ 19 ] في المقابل، تتميز ليزرات الإكسيمر المضخّمة بالتفريغ، والتي عُرضت لأول مرة في مختبر الأبحاث البحرية، بقدرتها على إخراج تيار مستمر من النبضات. [ 20 ] [ 21 ] وقد ساهمت معدلات تكرار النبضات العالية بشكل ملحوظ (في حدود 100  هرتز) وحجمها الصغير في إتاحة معظم التطبيقات المذكورة في القسم التالي. وقد طُوّرت سلسلة من الليزرات الصناعية في شركة XMR. [ 22 ]في سانتا كلارا، كاليفورنيا، بين عامي 1980 و1988. كانت معظم الليزرات المنتجة من نوع زينون كلوريد (XeCl)، وكان معدل الطاقة المستدامة 1 جول لكل نبضة بمعدل تكرار 300 نبضة في الثانية هو المعدل القياسي. استخدم هذا الليزر ثايراترون عالي الطاقة وتبديلًا مغناطيسيًا مع تأين مسبق بالهالة، وكان مصممًا للعمل حتى 100 مليون نبضة دون الحاجة إلى صيانة كبيرة. كان غاز التشغيل عبارة عن خليط من الزينون وكلوريد الهيدروجين والنيون بضغط يقارب 5 ضغط جوي. تم استخدام الفولاذ المقاوم للصدأ والطلاء بالنيكل وأقطاب النيكل الصلبة على نطاق واسع للحد من التآكل الناتج عن غاز كلوريد الهيدروجين. تمثلت إحدى المشكلات الرئيسية التي وُوجهت في تدهور النوافذ البصرية نتيجة تراكم الكربون على سطح نافذة فلوريد الكالسيوم (CaF₂). ويعود ذلك إلى مركبات الهيدروكلوروكربون المتكونة من كميات صغيرة من الكربون في الحلقات المطاطية (O-rings) المتفاعلة مع غاز كلوريد الهيدروجين. تتزايد مركبات الهيدروكلوروكربون ببطء مع مرور الوقت، وتمتص ضوء الليزر، مما يؤدي إلى انخفاض تدريجي في طاقة الليزر. بالإضافة إلى ذلك، تتحلل هذه المركبات في شعاع الليزر المكثف، وتتجمع على النافذة، مما يؤدي إلى انخفاض إضافي في الطاقة. وكان استبدال غاز الليزر والنوافذ بشكل دوري يتطلب تكلفة باهظة. وقد تحسن هذا الأمر بشكل ملحوظ باستخدام نظام لتنقية الغاز يتكون من مصيدة باردة تعمل عند درجة حرارة أعلى بقليل من درجة حرارة النيتروجين السائل، ومضخة منفاخ معدني لإعادة تدوير غاز الليزر عبر المصيدة الباردة. تتكون المصيدة الباردة من خزان للنيتروجين السائل وسخان لرفع درجة الحرارة قليلاً، حيث أن ضغط بخار الزينون عند 77 كلفن (نقطة غليان النيتروجين السائل) كان أقل من ضغط التشغيل المطلوب في خليط غاز الليزر. يتم تجميد حمض الهيدروكلوريك في المصيدة الباردة، ويُضاف المزيد منه للحفاظ على نسبة الغاز المناسبة. ومن الآثار الجانبية المثيرة للاهتمام لهذا النظام، الزيادة البطيئة في طاقة الليزر مع مرور الوقت، والتي تُعزى إلى زيادة الضغط الجزئي للهيدروجين في خليط الغاز نتيجة التفاعل البطيء للكلور مع معادن مختلفة. ومع تفاعل الكلور، ينطلق الهيدروجين، مما يزيد من الضغط الجزئي. وكانت النتيجة النهائية هي نفسها إضافة الهيدروجين إلى الخليط لزيادة كفاءة الليزر، كما ورد في تقرير تي جيه ماكي وآخرون [ 23 ] .

التطبيقات الرئيسية

الطباعة الضوئية

منذ ستينيات القرن الماضي، كان الاستخدام الصناعي الأكثر انتشارًا لأشعة الليزر الإكسيمر في الطباعة الضوئية بالأشعة فوق البنفسجية العميقة ، [ 24 ] [ 25 ] وهي تقنية بالغة الأهمية في تصنيع الأجهزة الإلكترونية الدقيقة . تاريخيًا، من أوائل الستينيات وحتى منتصف الثمانينيات، استُخدمت مصابيح الزئبق-زينون في الطباعة الضوئية نظرًا لخطوطها الطيفية عند  أطوال موجية 436 و405 و365 نانومتر. مع ذلك، ومع حاجة صناعة أشباه الموصلات إلى دقة أعلى (لإنتاج رقائق أكثر كثافة وسرعة) وإنتاجية أعلى (لخفض التكاليف)، لم تعد أدوات الطباعة الضوئية القائمة على المصابيح قادرة على تلبية متطلبات الصناعة. تم التغلب على هذا التحدي عندما اقترح كانتي جاين، في تطوير رائد عام 1982، الطباعة الضوئية باستخدام ليزر الإكسيمر بالأشعة فوق البنفسجية العميقة، وقام بتجربتها في شركة IBM . [ 24 ] [ 26 ] [ 25 ] [ 27 ] من منظور علمي وتقني أوسع، منذ اختراع الليزر عام 1960، برز تطوير الطباعة الحجرية باستخدام ليزر الإكسيمر كأحد أهم الإنجازات في تاريخ الليزر. [ 28 ] [ 29 ] [ 30 ]

تستخدم أدوات الطباعة الحجرية الحالية (حتى عام 2021) في الغالب ضوء الأشعة فوق البنفسجية العميقة (DUV) من ليزرات الإكسيمر KrF وArF بأطوال موجية تبلغ 248 و193 نانومترًا على التوالي (وتُسمى "طباعة ليزر الإكسيمر" [ 24 ] [ 26 ] [ 25 ] [ 31 ] )، مما مكّن من تقليص أحجام مكونات الترانزستور إلى 7 نانومترات (انظر أدناه). وبالتالي، لعبت طباعة ليزر الإكسيمر دورًا حاسمًا في التقدم المستمر لما يُعرف بقانون مور على مدى السنوات الخمس والعشرين الماضية. [ 32 ] وبحلول عام 2020 تقريبًا، بدأت طباعة الأشعة فوق البنفسجية القصوى (EUV) تحل محل طباعة ليزر الإكسيمر لتحسين دقة عملية طباعة دوائر أشباه الموصلات. [ 33 ]

الاندماج

قام مختبر الأبحاث البحرية ببناء نظامين، ليزر فلوريد الكريبتون (248  نانومتر) وليزر فلوريد الأرجون (193  نانومتر)، لاختبار أساليب إثبات جدوى تقنيات الاندماج بالقصور الذاتي . وهما نظاما الليزر إلكترا ونايكي . ولأن ليزر الإكسيمر نظام غازي، فإنه لا يسخن مثل أنظمة الحالة الصلبة كالمرفق الوطني للإشعال وليزر أوميغا . وقد أظهر نظام إلكترا قدرة على إطلاق 90,000 نبضة في 10 ساعات، وهو ما يجعله مثاليًا لمحطة طاقة الاندماج بالقصور الذاتي . [ 34 ]

الاستخدامات الطبية

يمتصّ الضوء فوق البنفسجي المنبعث من ليزر الإكسيمر بكفاءة عالية من قِبل المواد البيولوجية والمركبات العضوية . وبدلاً من حرق المادة أو قطعها، يضيف ليزر الإكسيمر طاقة كافية لتفكيك الروابط الجزيئية للأنسجة السطحية، مما يؤدي إلى تفتيتها في الهواء بطريقة دقيقة ومُحكمة من خلال الاستئصال بدلاً من الحرق. ولذلك، يتميز ليزر الإكسيمر بقدرته على إزالة طبقات رقيقة للغاية من المواد السطحية دون تسخين يُذكر أو تغيير يُذكر في بقية المادة التي تبقى سليمة. هذه الخصائص تجعل ليزر الإكسيمر مناسبًا تمامًا للتصنيع الدقيق للمواد العضوية (بما في ذلك بعض البوليمرات والبلاستيك)، أو للعمليات الجراحية الدقيقة مثل جراحة الليزك للعيون . في الفترة ما بين عامي 1980 و1983، لاحظ رانغاسوامي سرينيفاسان ، وصموئيل بلوم ، وجيمس ج. وين في مركز أبحاث تي جيه واتسون التابع لشركة آي بي إم ، تأثير ليزر الإكسيمر فوق البنفسجي على المواد البيولوجية. وبدافع من فضولهم، أجروا المزيد من الأبحاث، ووجدوا أن الليزر يُحدث قطوعًا نظيفة ودقيقة تُعدّ مثالية للعمليات الجراحية الدقيقة. أسفر ذلك عن براءة اختراع أساسية [ 35 ] ، وانتُخب سرينيفاسان وبلوم ووين لعضوية قاعة مشاهير المخترعين الوطنيين عام 2002. وفي عام 2012، كرّم الرئيس الأمريكي باراك أوباما أعضاء الفريق بالميدالية الوطنية للتكنولوجيا والابتكار تقديرًا لجهودهم في مجال ليزر الإكسيمر. [ 36 ] وقد أدخلت أعمال لاحقة ليزر الإكسيمر في جراحة رأب الأوعية الدموية . [ 37 ] كما تُستخدم ليزرات الإكسيمر المصنوعة من كلوريد الزينون (308 نانومتر) لعلاج مجموعة متنوعة من الأمراض الجلدية ، بما في ذلك الصدفية والبهاق والتهاب الجلد التأتبي والثعلبة البقعية والبهاق. [ 38 ] 

تُعد ليزرات الإكسيمر، كمصادر ضوئية، كبيرة الحجم بشكل عام، وهو ما يمثل عيبًا في تطبيقاتها الطبية، على الرغم من أن أحجامها تتناقص بسرعة مع التطور المستمر.

تُجرى الأبحاث لمقارنة الاختلافات في نتائج السلامة والفعالية بين جراحة تصحيح النظر بالليزر الإكسيمر التقليدية وجراحة تصحيح النظر الموجهة بموجة الجبهة أو المحسّنة بموجة الجبهة، حيث قد تُصحح طرق موجة الجبهة بشكل أفضل الانحرافات ذات الرتبة الأعلى . [ 39 ]

البحث العلمي

تُستخدم ليزرات الإكسيمر على نطاق واسع في العديد من مجالات البحث العلمي، سواء كمصادر أولية أو، وخاصة ليزر XeCl، كمصادر ضخ لليزر الصبغة القابل للضبط ، وذلك بشكل أساسي لإثارة أصباغ الليزر التي تُصدر ضوءًا في المنطقة الزرقاء-الخضراء من الطيف. [ 40 ] [ 41 ] كما تُستخدم هذه الليزرات بشكل شائع في أنظمة الترسيب بالليزر النبضي ، حيث تجعلها خصائصها من حيث كثافة الطاقة العالية ، والطول الموجي القصير، والشعاع غير المستمر مثاليةً لاستئصال مجموعة واسعة من المواد. [ 42 ]

انظر أيضاً

مراجع

  1. ↑ أتكينز، ب. و.؛ دي باولا، خوليو (2014). "13". الكيمياء الفيزيائية لأتكينز (  الطبعة العاشرة). أكسفورد؛ نيويورك: مطبعة جامعة أكسفورد. ص  354. ISBN 978-0-19-969740-3.
  2. ^ إف جي هوترمان (1960). "Über Massen-Wirkung im Optischen Spektralgebiet un die Möglichkeit absolut Negr Absorption für einige Fälle von Molekülspektren (Licht-Lawine)". هيلفيتيكا فيزيكا اكتا . 33 : 939.
  3. ↑ باسوف، ن. ج.؛ دانيلتشيف، ف. أ.؛ بوبوف، يوري م. (31 يناير 1971). "الانبعاث المحفز في منطقة الأشعة فوق البنفسجية الفراغية". المجلة السوفيتية للإلكترونيات الكمية . 1 (1): 18-22 . Bibcode : 1971QuEle...1...18B . doi : 10.1070/qe1971v001n01abeh003011 . ISSN 0049-1748 . 
  4. ↑ كوهلر، هـ. أ.؛ فيردربر، ل. ج.؛ ريد هيد، د. ل.؛ إيبرت، ب. ج. (سبتمبر 1972). "انبعاث الأشعة فوق البنفسجية المحفز في زينون عالي الضغط مُثار بواسطة حزم إلكترونية نسبية عالية التيار". رسائل الفيزياء التطبيقية . 21 (5): 198-200 . رمز Bibcode : 1972ApPhL..21..198K . doi : 10.1063/1.1654342 . ISSN 0003-6951 . 
  5. ↑ أولت، إي.؛ بهوميك، إم.؛ هيوز، دبليو.؛ جنسن، آر.؛ روبنسون، سي.؛ كولب، إيه.؛ شانون، جيه. (مارس 1973). "تشغيل ليزر الزينون عند 1730 أنغستروم". مجلة الجمعية البصرية الأمريكية . 63 (7): 907. doi : 10.1364/JOSA.63.000907 .
  6. ↑ "الأخبار في دائرة الضوء". ليزر فوكس . 9 (5): 10-14 . مايو 1973.
  7. ^ أولت، إي. بوميك، م. هيوز، دبليو. جنسن، ر.؛ روبنسون، C .؛ كولب، أ. شانون ج. (مارس 1973). “ليزر زينون الجزيئي في الأشعة فوق البنفسجية الفراغية”. مجلة IEEE للإلكترونيات الكمومية . 9 (10): 1031–1032 . بيب كود : 1973IJQE....9.1031A . دوى : 10.1109/jqe.1973.1077396 . ISSN 0018-9197 . 
  8. ↑ باستينغ، ديرك؛ بيبرت، كلاوس د.؛ ستام، أوفه (2002). "تاريخ وآفاق مستقبل ليزرات الإكسيمر". في: مياموتو، إيسامو؛ لو، يونغ فينغ؛ سوغيوكا، كوجي؛ دوبوفسكي، يان ج. (محررون). الندوة الدولية الثانية حول التصنيع الدقيق بالليزر . المجلد 4426. ص 25. doi : 10.1117/12.456812 .  
  9. ↑ إيوينغ، جيه جيه؛ براو، سي إيه (1975). "تأثير الليزر على نطاقات 2 Σ + 1/2 → 2 Σ + 1/2 لـ KRF و XeCl". رسائل الفيزياء التطبيقية . 27 (6): 350-352 . Bibcode : 1975ApPhL..27..350E . doi : 10.1063/1.88473 .
  10. ↑ تيسون، جي سي؛ هايز، إيه كيه؛ هوفمان، جي إم (1975). "ليزر KRF بقدرة 100 ميجاواط وطول موجي 248.4 نانومتر، مُثار بواسطة حزمة إلكترونية". اتصالات البصريات . 15 (2): 188-189 . Bibcode : 1975OptCo..15..188T . doi : 10.1016/0030-4018(75)90281-3 .
  11. ↑ أولت، إي آر؛ برادفورد، آر إس؛ بهوميك، إم إل (1975). "ليزر فلوريد الزينون عالي القدرة". رسائل الفيزياء التطبيقية . 27 (7): 413-415 . Bibcode : 1975ApPhL..27..413A . doi : 10.1063/1.88496 .
  12. ↑ سيرلز، إس كيه؛ هارت، جي إيه (1975). "الانبعاث المحفز عند 281.8 نانومتر من XeBr". رسائل الفيزياء التطبيقية . 27 (4): 243-245 . Bibcode : 1975ApPhL..27..243S . doi : 10.1063/1.88409 .
  13. ↑ كريستنسن، سي بي؛ واينانت، آر دبليو؛ فيلدمان، بي جيه (1985). "ليزر زينون كلوريد عالي الكفاءة يعمل بتفريغ الموجات الميكروية". رسائل الفيزياء التطبيقية . 46 (4): 321-323 . Bibcode : 1985ApPhL..46..321C . doi : 10.1063/1.95617 .
  14. ↑ أدى التفريغ بالميكروويف إلى بصمة أصغر بكثير، ومعدل تكرار نبضات عالٍ جدًا لليزر الإكسيمر، الذي تم تسويقه بموجب براءة الاختراع الأمريكية رقم 4,796,271 من قبل شركة بوتوماك فوتونيكس.
  15. ↑ بوتشر، روبرت ر. (1975). دراسة شاملة لأشعة الليزر الإكسيمر، روبرت ر. بوتشر (رسالة ماجستير). جامعة نيو مكسيكو.
  16. ↑ الاتحاد الدولي للكيمياء البحتة والتطبيقية (IUPAC )، موسوعة المصطلحات الكيميائية ، الطبعة الخامسة (الكتاب الذهبي) (2025). النسخة الإلكترونية: (2006 – ) " ليزر الإكسيمر ". doi : 10.1351/goldbook.E02243
  17. ↑ باستينغ، د. وماروسكي، ج.، محرران، تكنولوجيا ليزر الإكسيمر، سبرينغر، 2005.
  18. ↑ إف جيه دوارتي (محرر)، دليل الليزر القابل للضبط (أكاديميك، نيويورك، 1995) الفصل 3.
  19. ↑ وولفورد، إم إف؛ هيجلر، إف؛ مايرز، إم سي؛ جولياني، جيه إل؛ سيثيان، جيه دي (2004). "إلكترا: مذبذب KRF نبضي متكرر، 500 جول، 100 نانوثانية". رسائل الفيزياء التطبيقية . 84 (3): 326-328 . Bibcode : 2004ApPhL..84..326W . doi : 10.1063/1.1641513 .
  20. ↑ برنهام، ر.؛ ديجو، ن. (1976). "ليزر مُضخّم بتفريغ مُؤَيَّن مسبقًا بالأشعة فوق البنفسجية في XeF وKRF وArF". رسائل الفيزياء التطبيقية . 29 (11): 707-709 . Bibcode : 1976ApPhL..29..707B . doi : 10.1063/1.88934 .
  21. ↑ تم الحصول على الجهاز الأصلي من قبل قسم تكنولوجيا المعلومات التابع للمتحف الوطني للتاريخ الأمريكي وجمعية الكهرباء ومجموعة الفيزياء الحديثة (رقم الاقتناء 1996.0343).
  22. ↑ ملاحظات شخصية لروبرت بوتشر، مهندس ليزر في شركة XMR.
  23. ↑ ماكي، تي جيه؛ جيمس، دي جيه؛ نيب، دبليو إس؛ ويكس، آر دبليو؛ ويليس، سي. (1980). "إطالة عمر ليزرات XeCl وKrCl باستخدام إضافات". رسائل الفيزياء التطبيقية . 36 (12): 943-945 . Bibcode : 1980ApPhL..36..943M . doi : 10.1063/1.91658 .
  24. 1 2 3 جاين، ك.؛ ويلسون، سي جي؛ لين، بي جيه (1982). "الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية العميقة فائقة السرعة باستخدام ليزرات الإكسيمر". رسائل أجهزة الإلكترونيات IEEE . 3 (3): 53. Bibcode : 1982IEDL....3...53J . doi : 10.1109/EDL.1982.25476 .
  25. 1 2 3 جاين، ك. "طباعة الليثوغرافيا بالليزر الإكسيمر" ، مطبعة SPIE، بيلينجهام، واشنطن، 1990.
  26. 1 2 بولاسكو، كيه جيه؛ إيرليخ، دي جيه؛ تساو، جيه واي؛ بيس، آر إف دبليو؛ مارينيرو، إي إي (1984). "التعريض للأشعة فوق البنفسجية العميقة لـ Ag2Se/GeSe2 باستخدام ليزر إكسيمر". رسائل أجهزة الإلكترونيات IEEE . 5 (1): 24. Bibcode : 1984IEDL....5...24P . doi : 10.1109/EDL.1984.25818 .
  27. ↑ باستينغ، د.؛ ديجو، ن.؛ جاين، ك. (2005). "مراجعة تاريخية لتطوير ليزر الإكسيمر". تكنولوجيا ليزر الإكسيمر . ص 8-21 . doi : 10.1007/3-540-26667-4_2 . ISBN  3-540-20056-8.
  28. ↑ الجمعية الفيزيائية الأمريكية / الليزر / التاريخ / الجدول الزمني: http://www.laserfest.org/lasers/history/timeline.cfm
  29. ↑ SPIE / تطوير الليزر / 50 عامًا وما بعدها (ملف PDF) (تقرير). 6 يناير 2010.
  30. ↑ مجلس أبحاث الهندسة والعلوم الفيزيائية في المملكة المتحدة / الليزر في حياتنا / 50 عامًا من التأثير: "نسخة مؤرشفة" (PDF) . مؤرشفة من الأصل (PDF) بتاريخ 13 سبتمبر 2011. تم الاطلاع عليها بتاريخ 22 أغسطس 2011 .{{cite web}}: CS1 maint: archived copy as title ( link )
  31. ↑ لين، بي جيه، "الطباعة الحجرية الضوئية" ، مطبعة SPIE، بيلينجهام، واشنطن، 2009، ص 136.
  32. ↑ لافونتين، ب.، "الليزر وقانون مور"، SPIE Professional، أكتوبر 2010، ص 20. http://spie.org/x42152.xml
  33. ↑ "تحديث سامسونج لتقنيات 5 نانومتر و4 نانومتر" . ويكي تشيب فيوز. 19 أكتوبر 2019. تم الاطلاع عليه بتاريخ 29 أكتوبر 2021 .
  34. ↑ أوبنشاين، ستيفن؛ ليمبرغ، روبرت؛ كين، ديفيد؛ هيغلر، فرانك؛ وولفورد، ماثيو؛ سيثيان، جون؛ ويفر، جيمس؛ كاراسيك، ماكس (2015). "ليزر فلوريد الكريبتون عالي الطاقة للاندماج بالقصور الذاتي". البصريات التطبيقية . 54 (31): F103-22. Bibcode : 2015ApOpt..54F.103O . doi : 10.1364/AO.54.00F103 . OSTI 1222231. PMID 26560597 .  
  35. ↑ براءة الاختراع الأمريكية رقم 4784135 ، "إجراءات جراحية وأسنان بالأشعة فوق البنفسجية البعيدة"، الصادرة بتاريخ 15 أكتوبر 1988 
  36. ↑ "بيان صحفي من شركة آي بي إم" . آي بي إم. 21 ديسمبر 2012. مؤرشف من الأصل في 31 ديسمبر 2012. تم الاطلاع عليه في 21 ديسمبر 2012 .
  37. ↑ ر. لينسكر؛ ر. سرينيفاسان؛ ج. ج. وين؛ د. ر. ألونسو (1984). "استئصال آفات تصلب الشرايين باستخدام ليزر الأشعة فوق البنفسجية البعيدة". جراحة الليزر والطب . 4 (1): 201-206 . doi : 10.1002/lsm.1900040212 . PMID 6472033. S2CID 12827770 .  
  38. ↑ هارتمان شاتلوف د، ريتامال ألتبير س، فالينزويلا ف (2024). "دور ضوء الإكسيمر في طب الأمراض الجلدية: مراجعة" . حوليات الأمراض الجلدية البرازيلية . 99 (6): 887-894 . doi : 10.1016/j.abd.2023.12.007 . PMC 11551234. PMID 39107199 .  
  39. ↑ لي إس إم، كانغ إم تي، تشو واي، وانغ إن إل، ليندزلي كيه (2017). "جراحة تصحيح النظر بالليزر الإكسيمري ذي الجبهة الموجية للبالغين الذين يعانون من أخطاء انكسارية" . قاعدة بيانات كوكرين للمراجعات المنهجية . 6 (6) CD012687. doi : 10.1002/14651858.CD012687 . PMC 6481747 . 
  40. ↑ Duarte, FJ and Hillman, LW (Eds.), Dye Laser Principles (Academic, New York, 1990) Chapter 6.
  41. ↑ تالمان، سي. وتينانت، آر.، ليزرات الصبغة المضخّمة بليزر الإكسيمر واسعة النطاق، في ليزرات الصبغة عالية الطاقة ، دوارتي، إف جيه (محرر) (سبرينغر، برلين، 1991) الفصل 4.
  42. ↑ كريسي، دي بي وهوبلر، جي كي، ترسيب الأغشية الرقيقة بالليزر النبضي (وايلي، 1994)، رقم ISBN 9780471592181الفصل الثاني.